1. ஆப்டிகல் மெட்டலோகிராஃபிக் நுண்ணோக்கி மற்றும் அணுசக்தி நுண்ணோக்கியின் ஒருங்கிணைந்த வடிவமைப்பு, சக்திவாய்ந்த செயல்பாடுகள்
2. இது ஆப்டிகல் மைக்ரோஸ்கோப் மற்றும் அணுசக்தி நுண்ணோக்கி இமேஜிங் செயல்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, இவை இரண்டும் ஒருவருக்கொருவர் பாதிக்காமல் ஒரே நேரத்தில் வேலை செய்ய முடியும்
3. அதே நேரத்தில், இது ஆப்டிகல் இரு பரிமாண அளவீட்டு மற்றும் அணுசக்தி நுண்ணோக்கி முப்பரிமாண அளவீட்டின் செயல்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது
4. லேசர் கண்டறிதல் தலை மற்றும் மாதிரி ஸ்கேனிங் நிலை ஒருங்கிணைக்கப்பட்டுள்ளது, கட்டமைப்பு மிகவும் நிலையானது, மற்றும் குறுக்கீடு எதிர்ப்பு வலுவானது
5. துல்லிய ஆய்வு பொருத்துதல் சாதனம், லேசர் ஸ்பாட் சீரமைப்பு சரிசெய்தல் மிகவும் எளிதானது
6. ஒற்றை-அச்சு இயக்கி மாதிரி தானாகவே ஆய்வை செங்குத்தாக அணுகும், இதனால் ஊசியின் நுனி மாதிரிக்கு செங்குத்தாக ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது
7. மோட்டார் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அழுத்தப்பட்ட பைசோ எலக்ட்ரிக் பீங்கான் தானியங்கி கண்டறிதலின் நுண்ணறிவு ஊசி உணவு முறை ஆய்வு மற்றும் மாதிரியைப் பாதுகாக்கிறது
8. ஆய்வு மற்றும் மாதிரி ஸ்கேனிங் பகுதியின் துல்லியமான நிலைப்பாட்டை அடைய அல்ட்ரா-உயர் உருப்பெருக்கம் ஆப்டிகல் பொருத்துதல் அமைப்பு
9. ஒருங்கிணைந்த ஸ்கேனர் அல்லாத திருத்தம் பயனர் எடிட்டர், நானோமீட்டர் தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியம் 98% ஐ விட சிறந்தது
விவரக்குறிப்புகள்:
இயக்க முறை | டச் பயன்முறை, தட்டு முறை |
விருப்ப முறை | உராய்வு/பக்கவாட்டு சக்தி, வீச்சு/கட்டம், காந்த/மின்னியல் சக்தி |
சக்தி ஸ்பெக்ட்ரம் வளைவு | FZ படை வளைவு, RMS-Z வளைவு |
XY ஸ்கேன் வரம்பு | 50*50UM, விரும்பினால் 20*20um, 100*100um |
Z ஸ்கேன் வரம்பு | 5um, விரும்பினால் 2um, 10um |
ஸ்கேன் தீர்மானம் | கிடைமட்ட 0.2nm, செங்குத்து 0.05nm |
மாதிரி அளவு | Φ≤68 மிமீ, H≤20 மிமீ |
மாதிரி நிலை பயணம் | 25*25 மி.மீ. |
ஆப்டிகல் கண் | 10x |
ஒளியியல் நோக்கம் | 5x/10x/20x/50x திட்டம் அபோக்ரோமாடிக் நோக்கங்கள் |
லைட்டிங் முறை | லு கோஹ்லர் லைட்டிங் சிஸ்டம் |
ஒளியியல் கவனம் | கடினமான கையேடு கவனம் |
கேமரா | 5MP CMOS சென்சார் |
காட்சி | வரைபடம் தொடர்பான அளவீட்டு செயல்பாட்டுடன் 10.1 அங்குல பிளாட் பேனல் காட்சி |
வேகம் ஸ்கேன் | 0.6 ஹெர்ட்ஸ் -30 ஹெர்ட்ஸ் |
கோணம் ஸ்கேன் | 0-360 ° |
இயக்க சூழல் | விண்டோஸ் எக்ஸ்பி/7/8/10 இயக்க முறைமை |
தொடர்பு இடைமுகம் | USB2.0/3.0 |