1. லேசர் கண்டறிதல் தலை மற்றும் மாதிரி ஸ்கேனிங் நிலை ஒருங்கிணைக்கப்பட்டுள்ளது, கட்டமைப்பு மிகவும் நிலையானது, மற்றும் குறுக்கீடு எதிர்ப்பு வலுவானது
2. நடைமுறை ஆய்வு பொருத்துதல் சாதனம், லேசர் ஸ்பாட் சீரமைப்பு சரிசெய்தல் மிகவும் எளிதானது
3. சிங்கிள்-அச்சு இயக்கி மாதிரி தானாகவே ஆய்வை செங்குத்தாக அணுகும், இதனால் ஊசி முனை மாதிரி ஸ்கேன் செங்குத்தாக இருக்கும்
4. மோட்டார் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அழுத்தப்பட்ட பைசோ எலக்ட்ரிக் பீங்கான் தானியங்கி கண்டறிதலின் புத்திசாலித்தனமான ஊசி உணவு முறை ஆய்வு மற்றும் மாதிரியைப் பாதுகாக்கிறது
.
6.ஸ்பிரிங் சஸ்பென்ஷன் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு முறை, எளிய மற்றும் நடைமுறை, நல்ல அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு விளைவு
7. மெட்டல் கேடய சவுண்ட் ப்ரூஃப் பெட்டி, உள்ளமைக்கப்பட்ட உயர் துல்லியமான வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் சென்சார், பணிச்சூழலின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு
8. ஒருங்கிணைந்த ஸ்கேனர் நேரியல் திருத்தம் பயனர் எடிட்டர், நானோமீட்டர் தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியம் 98% ஐ விட சிறந்தது
இயக்க முறை | டச் பயன்முறை, தட்டு முறை |
விருப்ப முறை | உராய்வு/பக்கவாட்டு சக்தி, வீச்சு/கட்டம், காந்த/மின்னியல் சக்தி |
சக்தி ஸ்பெக்ட்ரம் வளைவு | FZ படை வளைவு, RMS-Z வளைவு |
XY ஸ்கேன் வரம்பு | 20*20um, விரும்பினால் 50*50um, 100*100um |
Z ஸ்கேன் வரம்பு | 2.5um, விரும்பினால் 5um, 10um |
ஸ்கேன் தீர்மானம் | கிடைமட்ட 0.2nm, செங்குத்து 0.05nm |
மாதிரி அளவு | Φ≤90 மிமீ, H≤20 மிமீ |
மாதிரி நிலை பயணம் | 15*15 மி.மீ. |
ஒளியியல் கண்காணிப்பு | 4x ஆப்டிகல் புறநிலை லென்ஸ்/2.5 உம் தீர்மானம் |
வேகம் ஸ்கேன் | 0.6 ஹெர்ட்ஸ் -30 ஹெர்ட்ஸ் |
கோணம் ஸ்கேன் | 0-360 ° |
இயக்க சூழல் | விண்டோஸ் எக்ஸ்பி/7/8/10 இயக்க முறைமை |
தொடர்பு இடைமுகம் | USB2.0/3.0 |
அதிர்ச்சி-உறிஞ்சும் வடிவமைப்பு | வசந்த இடைநீக்கம்/உலோக கவச பெட்டி |