1. லேசர் கண்டறிதல் தலை மற்றும் மாதிரி ஸ்கேனிங் நிலை ஒருங்கிணைக்கப்பட்டுள்ளது, கட்டமைப்பு மிகவும் நிலையானது, மற்றும் குறுக்கீடு எதிர்ப்பு வலுவானது
2.Precision probe பொருத்துதல் சாதனம், லேசர் ஸ்பாட் சீரமைப்பு சரிசெய்தல் மிகவும் எளிதானது
3.ஒற்றை-அச்சு இயக்கி மாதிரி தானாகவே செங்குத்தாக ஆய்வை அணுகுகிறது, இதனால் ஊசி முனை மாதிரி ஸ்கேன்க்கு செங்குத்தாக இருக்கும்
4. மோட்டார்-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அழுத்தமான பீசோ எலக்ட்ரிக் பீசோ எலக்ட்ரிக் செராமிக் தானியங்கு கண்டறிதலின் அறிவார்ந்த ஊசி உணவு முறை ஆய்வு மற்றும் மாதிரியைப் பாதுகாக்கிறது
5.தானியங்கி ஆப்டிகல் பொசிஷனிங், கவனம் செலுத்த வேண்டிய அவசியம் இல்லை, நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் ஆய்வு மாதிரி ஸ்கேனிங் பகுதியின் நிலைப்படுத்தல்
6.ஸ்பிரிங் சஸ்பென்ஷன் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு முறை, எளிய மற்றும் நடைமுறை, நல்ல அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு விளைவு
7.மெட்டல் ஷீல்டட் சவுண்ட் ப்ரூஃப் பாக்ஸ், உள்ளமைக்கப்பட்ட உயர் துல்லிய வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் சென்சார், வேலை செய்யும் சூழலின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு
8.ஒருங்கிணைந்த ஸ்கேனர் நேரியல் அல்லாத திருத்தம் பயனர் எடிட்டர், நானோமீட்டர் தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியம் 98% ஐ விட சிறந்தது
இயக்க முறை | தொடு முறை, தட்டு முறை |
விருப்ப முறை | உராய்வு/பக்கவாட்டு விசை, வீச்சு/கட்டம், காந்தம்/மின்னியல் விசை |
படை நிறமாலை வளைவு | FZ படை வளைவு, RMS-Z வளைவு |
XY ஸ்கேன் வரம்பு | 20*20um, விருப்பத்தேர்வு 50*50um, 100*100um |
Z ஸ்கேன் வரம்பு | 2.5um, விருப்பத்தேர்வு 5um, 10um |
ஸ்கேன் தீர்மானம் | கிடைமட்ட 0.2nm, செங்குத்து 0.05nm |
மாதிரி அளவு | Φ≤90mm, H≤20mm |
மாதிரி மேடை பயணம் | 15*15மிமீ |
ஒளியியல் கவனிப்பு | 4X ஆப்டிகல் ஆப்ஜெக்டிவ் லென்ஸ்/2.5um தெளிவுத்திறன் |
ஸ்கேன் வேகம் | 0.6Hz-30Hz |
கோணத்தை ஸ்கேன் செய்யவும் | 0-360° |
இயங்குகிற சூழ்நிலை | விண்டோஸ் எக்ஸ்பி/7/8/10 இயங்குதளம் |
தொடர்பு இடைமுகம் | USB2.0/3.0 |
அதிர்ச்சி-உறிஞ்சும் வடிவமைப்பு | ஸ்பிரிங் சஸ்பெண்ட்/மெட்டல் ஷீல்டட் பாக்ஸ் |